优势：在微电子和半导体行业中，检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快，您做出响应的速度也就越快.

视场宽敞30%:DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷，提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。更更多细节尽收眼底，工作更高效

看到更多细节意味着工作更高效。

为快速扫描达到 6" 的大组件，DM3 XL 提供独特的宏观物镜。中显恒业，进口科学仪器提供商。

利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm的视场–比其他常规扫描物镜宽敞30%

在宏观物镜下，缺陷无所遁形：

提高您的收益率

可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域

检测不均匀的径向膜厚度多细节尽收眼底，工作更高效

适用于所有相衬观察方法的 LED

DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。

在所有亮度等级下实现真彩色成像

自由调节

无需更换灯泡 – 无停机时间

可复制的结果

由于 LED 使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。

光学“高手”

DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。

采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑：以简单有效的方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。

借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。

您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。

不同样品 – 可变载物台插件

无论您想要检验的样品是哪种类型，尺寸如何，均有种类丰富的载物台插件供您选择：

载物台尺寸：150 mm x 150 mm

载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座

快速的粗略或精准载物台定位

工作舒适直观

彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化，有助于提升您的工作速度，并程度减少操作失误。

直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付结果。

得益于可轻松操作的控件，用户可在切换对比度或照明时，双手继续操作显微镜，双眼专注于样品之上。

右手可轻松操控光强控制器

使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮，根据不同身高调整显微镜

徕卡DM3 XL半导体行业专用材料显微镜
主要技术指标
1、 主机：研究级正置式显微镜主机，全部原装生产。
2、 光学系统：采用国际进的HCS无限远光学系统，有效校正轴向和径向色差，提供最清晰锐利的图像。同时采用国际标准的45mm齐焦距离。
3、观察方式：显微镜具备反射明场、暗场、斜射照明观察方式，灯箱由主机直接供电，无外置电源。
4、 反射光路：具备不低于4位功能转换模块，支持明场，暗场，偏光和斜射照明等观察方式。整体光路支持25mm视场。后期可升级微分干涉观察方式等。
*5、 一键式斜射照明观察模式：可快速从明场观察转换为斜射观察模式，可对样品表面微小起伏实现立体观察,发现在其他观察方式下难以观察到的晶界和微小缺陷等结构。
6、 放大倍数：50X~1000X（10倍标准目镜下）
7、专业三目观察镜筒：高级三档分光正相观察筒，瞳距和观察角度均可调。目镜筒可实现100:0/50:50/0:100三档分光，克服外部灯丝像对显微图像的影响。视场数不低于25；
8、目镜：配置10X超宽视野目镜，视场数不低于25mm，同时配置目镜测微尺，目镜屈光度可调节。
9、物镜转换器：不低于五孔高精度明暗场物镜转换器，保证五只物镜同时安装，每个物镜孔孔径不低于32mm，保证通光量。
10、物镜：配置高精度高反差万能半复萤石明暗场物镜5X、10X、20X、50X、100X五只，所有物镜支持明场、暗场、偏光、斜射照明和DIC微分干涉等观察方式，均为干镜头。物镜孔径不低于32mm，保证通光量。
*11、调焦机构：至少具备粗、中、细三档高精度调焦机构，并且调焦手轮高度可调，以保证更为准确快捷的调焦设置，同时适合不同手型大小和不同臂长的使用者。
12、高级机械载物台：大型载物台，可实现透反射观察，XY同轴控制手柄，操作灵活。X/Y轴调节旋钮松紧度（张力）可调。载物台行程不低于150mm×150mm，另配备圆形晶圆台（不得低于6寸）
13、光源：需采用研究级科勒照明LED高亮光源（亮度高于12V100W卤素灯），保证提供足够照明，灯箱带集光透镜，保证照明光线方向性、增强照明均匀度，减少杂散光干扰。LED光源无发热和闪烁，有效寿命3万小时以上。透反射光源均要求主机直接供电，一键即可切换，不接受外置电源
*14、光阑调节：需配置CDA彩色编码光阑辅助系统，可实现光阑大小调节直接与物镜倍率相对应，更准确的控制景深，且提供对比度、衬度，减少人为粗略调节带来的视域明暗差异、衬度差异。
*15、数码摄像头：采用显微镜厂家同品牌生产数码摄像头，1000万有效物理像素
*15.1 不低于1000万物理像素彩色高清（HD）摄像头，具备静态图像采集和视频录制功能，静态图像物理分辨率为3648X2736(1000万像素)，视频片段分辨率为200万像素。
*15.2. 独立式操作：无需连接电脑即可进行图像采集和视频录制，所有操作通过无线遥控器实现。所采集的数据高速存储在可取出的SD卡上。无线遥控器可设定所有摄像头参数，只需一个按键即可捕捉和查看图像或影像片段。
15.3. 快速实时图像传输：可实现每秒30帧的全高清分辨率（1920 x1080）动态实时图像传输观察，限度减少拖尾现象；具备HDMI高清接口，可进行高清图像及视频传输；
16、图象分析系统基本平台（与显微镜同品牌原装图像采集系统，非国内定制汉化软件）：
16.1 用户界面,工作流程导向用户界面， 操作容易和符合人工学要求. 优化的数据处理为快速采集图象和大量数据集显示,直观的设定实验条件给快速设置和采集单色通道图象
16.2 采图,高速图象采集.完全控制照相机性能如曝光, 增益, binning, 黑的, 白的和伽玛值, 局部图象采集.-图象显示和管理,大图象视窗在采集中或后复览显示单通道, 多通道图象.
16.3测量模块：可进行图像二维尺寸的测量测量项目包含长度、角度、周长、面积和平均强度等；另外具备手动活图实时测量功能；
16.4 图象拼接功能：具备图像拼接功能，扩展观察视野面积；
17、电脑：Dell商务电脑一台，市场主流配置，1T硬盘，4G内存，1G独显，22寸液晶屏幕。